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  • EVG610 BA晶圓對準(zhǔn)設(shè)備

    晶圓缺陷檢測設(shè)備專為晶圓與晶圓對準(zhǔn)設(shè)計,晶圓尺寸大可達(dá)150 mm。EV Group鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)提供手動高精度帶有底部顯微鏡的校準(zhǔn)臺。EVG的鍵合對準(zhǔn)系統(tǒng)的精度能滿足MEMS生產(chǎn)和3D集成應(yīng)用等新興領(lǐng)域中苛刻的對準(zhǔn)要求。

    更新時間:2024-11-09
    型號:EVG610 BA
    廠商性質(zhì):代理商
    瀏覽量:3722
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